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SEM掃描電鏡的維護保養(yǎng)是確保其正常運行的關(guān)鍵

更新時間:2024-11-12      點擊次數(shù):395
  SEM掃描電鏡作為一種強大的顯微分析工具,其高分辨率成像能力和廣泛的應(yīng)用前景使其在科學研究和工業(yè)生產(chǎn)中扮演著越來越重要的角色。隨著技術(shù)的不斷進步,我們有理由相信,SEM將在未來的科技發(fā)展中發(fā)揮更大的作用,為人類探索未知世界提供更加準確的視角和手段。
 
  SEM掃描電鏡(SEM)的維護保養(yǎng)是確保其正常運行和延長使用壽命的關(guān)鍵:
 
  1.電子光學系統(tǒng)的清洗
 
  -清洗頻率:每次更換燈絲時,柵帽、柵帽光闌固定圈都要清洗,不必每次都要清洗物鏡光闌柄。當見到明顯的污染及圖象象散過大時,就要清洗物鏡光闌柄并換新光闌或用酒精燈燒物鏡光闌柄。
 
  -清洗部位:物鏡下極靴孔、襯管等。
 
  -注意事項:在SEM掃描電鏡操作室中,如果是鎢燈絲SEM掃描電鏡,應(yīng)定期對柵極片的污染部位進行清潔,使用金屬研磨膏來進行擦拭,然后用丙酮或酒精等有機溶液進行超聲波清洗;對于物鏡光闌的清洗,要用專用工具拆卸和清洗,并且要輕拿輕放,不能用鑷子夾持光闌孔,不能夾持光闌孔。
 
  2.鏡筒襯管的維護和清洗
 
  -準備工具:專用工具、鏡筒襯管清洗棒、鏡筒襯管。
 
  -清洗步驟:打開鏡筒上部發(fā)射倉頂蓋,使用專業(yè)工具提取鏡筒襯管,慢慢用專用工具插入鏡筒襯管中,推出其中的光闌,然后取出光闌和襯管分開清洗,清洗后將光闌和襯管按原位置推進去烘烤后倒置安裝。
 
  3.電子槍的清洗和維護
 
  -拆卸燈絲組件:用氨水將燈絲組件柵帽附近的揮發(fā)物擦拭干凈,然后用酒精擦一遍。注意:如果燈絲組件用的時間較長,除了柵帽附近較臟外,其它部位也較臟,則整個組件全部拆下來清洗。
 
  -重裝燈絲:將燈絲重裝及燈絲調(diào)中調(diào)節(jié)到燈絲剛好處于柵帽光闌中心的距離,并注意“O”型圈上不要沾有灰塵或毛狀物,注意環(huán)境的干燥和清潔。
SEM掃描電鏡

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